多くの場合、クリーン ルームの使用のための浮遊粒子状物質のカウンターの選択は器械および購入価格の指定に基づいて行われる。
指定の細部に得る前に、器械が、それが使用される器械を使用して、環境いかに使用されるか見ることは重要である。考慮に入れられたこの情報なしで適用のための粒子のカウンターのより少しにより最適の選択は作ることができる。
•どのような環境で粒子は使用されるために逆らうか。数える定期的な粒子のためにISOのクラス3のクリーン ルームで使用されるまたは流れのベンチが重大なプロセス前に作動していることが確認するために使用されるか。
•集まると期待される粒子のカウンターはどのようなデータであるか。この情報は簡単なパス/失敗データとして記録されるまたは情報は展開表かデータベースに記録されなければならないか。
•オペレータは粒子のカウンターを運んで、それを重大な仕事表面に置いてまたは器械はカート取付けたであるか。
•この粒子は使用されるために位置からの位置にクリーン ルームそして旅行を証明するのに逆らうか。
•粒子は使用されるためにクリーン ルームを手数料ベースで監視するのに逆らうか。粒子のカウンターは設備モニタリング システム(FMS)とインターフェイスするように意図されているか。
粒子はいかに仕事に逆らうか。
エーロゾルの粒子のカウンターは光散乱か、または軽い妨害の校長で動作する。エーロゾルの流れは光源の部屋を通して引かれる(レーザーは軽いですか白色光を基づかせていた)。粒子がこの光ビームによって照らされるとき、ライトは方向を変えるか、または吸収される。元の方向に関連して特定の方向の単一の粒子によって分散するライトに粒子のサイズに関連している独特な署名がある。これは個々の粒子の大きさで分類し、カウントを可能にする。
粒子のカウンターは4つの部品から成っている:
1) 光源(ガスはレーザーのソリッド ステート半導体レーザー、高輝度ライトを基づかせていた)
2)写真の検出の電子工学
3)サンプル流れシステム
4)電子工学のカウント
これらの部品のいくつかは粒子のカウンターの内で完全に取付けられるか、または遠隔に見つけられるかもしれない。ライトはサンプル容積を照らすために視準を正される。粒子がこの容積を通ると同時に、ライトを分散させる。写真の検出システムは分散するライトの量を測定する。粒子のサイズは分散させたライトの強度によって定められる。
指定
すべての製造業者が同じ設計原理を使用するが、設計の細部は残りからの1つの製造業者を区別するものがである。サンプル流動度、感受性、サイズの範囲、チャネル、レーザーまたは半導体レーザーの光源の寿命の耐久性のカウントの数のような指定は、口径測定を開く機能粒子のカウンターを選ぶとき考慮するべきあらゆる面で重要な要因である。
感受性:検出することができる小型の粒子。
水平なゼロ計算か偽の計算率:一定の時間の最適流動度のろ過された空気を使用して不当に報告された粒子の数。この計算の標準的な報告は粒子per5の微細な間隔の数である。普通期待されたゼロ計算率はより少し1 5分あたりthan1計算である。
計数効率:本当の粒子の集中への測定された粒子の集中の比率。本当の粒子の集中はテストの下で器械の最低の粒度で計数効率of100%があるより敏感な器械によって測定される。きちんと設計されていた器械は最も小さい範囲の50%の計数効率があるべきである。
チャネル:粒子が置かれるかどれをで数えられる各粒子のそれぞれのサイズに基づいて「大箱」の数。チャネルはミクロンで表される。例えば、4channelsの粒子のカウンターがあるかもしれない。これは粒子がbinned in4異なったチャネル数えることができることを意味し。例えば、4 -チャネルのカウンターは次のチャネルのサイズを含むかもしれない:0.3のμm、0.5のμm、1.0 μm、5.0μm。
流動度:粒子のカウンターを通る空気の量。これは1分あたり立方フィートで普通表される。共通の流動度は1.0cfmand 0.1cfmである。より大きい流動度、より大きいポンプ空気およびこれを引っ張ること通常翻訳するより大きい粒子のカウンターに。
何度も、最低チャネルのサイズは他の規準に選ばれる。これが重要な考察であるが、他の変数はまた考慮されるべきである。
通常器械、より敏感、最初の投資より高くより高い維持費。器械が粒子の非常に高い濃度の環境で使用されれば、サービス技術者によって頻繁なクリーニングを要求するかもしれない。
粒子のカウンターおよび指定の意図されていた使用の理解によって、顧客は器械を選ぶときより教育がある決定をすることができる。
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